泡生法藍寶石單晶生長工藝與技術
作 者:劉成成//紀超//康平//柴喜紅//張新峰 著作
定 價:90
出 版 社:科學出版社
裝 幀:平裝
ISBN:9787030451668
●序
●前言
●第1章 藍寶石生長方法概述
●1.1 大尺寸藍寶石單晶生長的主要方法
●1.1.1 提拉法
●1.1.2 導模法
●1.1.3 熱交換法
●1.1.4 坩埚下降法
●1.1.5 水平定向生長法
●1.1.6 泡生法
●1.2 藍寶石單晶主要生長技術優缺點及應用比較
●第2章 藍寶石單晶泡生法生長技術
●2.1 泡生法的基本原理
●2.2 泡生法生長藍寶石單晶的典型工藝
●2.3 典型的泡生法生長藍寶石單晶爐繫統構成
●2.4 泡生法藍寶石單晶的生長與加工工藝流程
●第3章 泡生法生長藍寶石所需真空的獲得與保持
●3.1 泡生法常用真空繫統
●3.1.1 泡生法長晶過程中以分子泵為主泵的真空繫統
●3.1.2 泡生法長晶過程中以油擴散泵為主泵的真空繫統......
內容簡介
劉成成、紀超、康平、柴喜紅、張新峰編著的《泡生法藍寶石單晶生長工藝與技術》繫統總結了泡生法生長藍寶石單晶的原理方法與關鍵技術。在介紹泡生法的基礎知識、熱場設計原則和典型生長工藝的基礎上，繫統總結了作者多年從事泡生法藍寶石單晶生長的相關研究成果和工作經驗，結合實例著重對真空繫統、熱場、工藝和電控繫統等技術問題展開討論。敘述簡單易懂，實用型較強，便於自學。很後，對泡生法藍寶石單晶生長相關領域技術的發展給出了作者的展望。
本書可供從事泡生法長晶一線人員參考使用，也可供從事相關領域的科研人員學習和參考。
