內容簡介
全書共七章內容。從介紹類金剛石膜性質、組成、制備及應用入手，闡述了脈衝激光沉積技術及其在制備類金剛石膜方面的機理和優、缺點，以及類金剛石膜的測試與表征；詳細討論了激光參數、基底狀態、靶材種類以及環境氣氛等因素對類金剛石膜性能的影響，偏重於闡述摻雜、退火、膜層結構及雙激光技術等類金剛石膜降低內應力、提高膜層性能的改性技術；針對類金剛石膜的工程應用中存在的大面積不均勻、制備效率低的現實問題，展現了多功能激光沉積繫統，闡述了脈衝激光沉積大尺寸均勻平面和球面類金剛石膜的裝置、模型及實驗；很後介紹了脈衝激光沉積技術在制備其他功能薄膜方面的應用，展望了該技術未來發展趨勢和前景。
