筆者曹慎誠專門從事真空檢漏技術研究和應用47年。根據多年的知識積累，綜合現代新興真空檢漏技術成果編寫出《實用真空檢漏技術》，其目的就是給從事真空檢漏技術**線的技術人員提供技術幫助，該書可作為真空檢漏人員培訓教材使用，亦可供科研人員、大專院校師生參考。相信對真空裝置設計、生產將起到促進作用。
《實用真空檢漏技術》共7章，內容豐富，提供的數據、圖表**、可靠。本書繫統介紹了有關檢漏的基本概念和基礎理論，重點介紹了常用的檢漏方法、氦質譜檢漏法、四極質譜計檢漏法等，並列舉了一些應用實例。同時，為了*準確地反映實際情況，對工況下的檢漏進行了研究和描述，其中包括真空條件下的檢漏，也包括正壓檢漏。

《實用真空檢漏技術》是作者曹慎誠在幾十年的真空檢漏技術工程經 驗以及培訓教學基礎上，結合近幾年出現的新技術、新成果綜合編寫成的 。內容豐富、技術先進。 全書共分7章，其中包括：檢漏的一般概念、檢漏的真空基礎、常用的 檢漏方法、標準漏孔及其校準等。重點介紹了氦質譜檢漏儀法和四極質譜 計檢漏法，並給出了應用實例。 《實用真空檢漏技術》主要為廣大真空檢漏技術人員提供服務，亦可 作為真空檢漏培訓班教材使用，並為大專院校師生提供重要參考。

第1章 檢漏的一般概念
1.1 檢漏技術的地位和應用1
1.2 檢漏技術的主要術語1
1.3 壓力與漏率關繫3
1.3.1 動態真空3
1.3.2 靜態真空3
1.4 檢漏的任務3
1.4.1 真空抽不好的原因3
1.4.2 不能保持壓力的原因4
1.4.3 檢漏的任務4
1.5 漏孔及其表示4
1.5.1 焊縫及原材料的缺欠4
1.5.2 常見漏孔的形式5
1.5.3 漏孔出現位置及產生原因5
1.5.4 漏孔大小的表示方法6
1.5.5 影響漏孔漏率的因素7
1.5.6 漏率的單位7
1.5.7 漏孔對真空的影響10
1.6 裝置漏氣的判定10
1.6.1 真空裝置漏氣的判定10
1.6.2 加壓裝置漏氣的判定12
1.6.3 檢漏儀及其他方法13
1.7 裝置容許*大漏率估算13
1.7.1 動態真空裝置容許*大漏率14
1.7.2 靜態真空裝置容許*大漏率15
1.7.3 加壓裝置容許*大漏率16
1.7.4 實際存在漏孔漏率分布16
1.8 靈敏度與*小可檢漏率17
1.8.1 靈敏度17
1.8.2 *小可檢漏率17
1.8.3 有效*小可檢漏率17
1.9 對檢漏的一般要求18
1.10 檢漏方法的分類19
1.10.1 加壓檢漏法19
1.10.2 抽真空檢漏法20
1.10.3 其他方法20
1.11 檢漏方法、儀器和示漏物質選擇原則21
1.12 國產氦質譜檢漏儀現狀21
第2章 檢漏的真空基礎
2.1 真空概念和測量單位23
2.1.1 真空概念23
2.1.2 真空度23
2.1.3 真空區域劃分23
2.2 理想氣體基本定律及狀態方程25
2.2.1 理想氣體25
2.2.2 波義耳定律25
2.2.3 蓋·呂薩克定律25
2.2.4 查理定律26
2.2.5 阿伏伽德羅定律26
2.2.6 理想氣體狀態方程26
2.2.7 道爾頓定律（分壓力定律）27
2.3 氣體分子的平均自由程27
2.3.1 平均自由程27
2.3.2 單一氣體分子的平均自由程27
2.4 氣體流量和管道流導28
2.4.1 氣體量28
2.4.2 流量28
2.4.3 流導29
2.4.4 管道串聯的流導29
2.4.5 管道並聯的流導29
2.5 氣體的流動狀態29
2.5.1 真空管道中的氣體流動29
2.5.2 漏孔中的氣體流動30
2.6 真空泵31
2.6.1 油封式旋轉機械真空泵31
2.6.2 油擴散泵34
2.6.3 渦輪分子泵36
2.7 真空計38
2.7.1 靜態變形真空計38
2.7.2 電阻真空計39
2.7.3 熱偶真空計41
2.7.4 熱陰極電離真空計43
2.7.5 冷陰極磁控放電真空計（潘寧真空計）45
2.7.6 分壓力真空計47
第3章 常用的檢漏方法
3.1 靜態升壓法49
3.2 靜態降壓法51
3.3 氣泡檢漏法51
3.3.1 氣泡檢漏法的原理51
3.3.2 產生氣泡的條件51
3.3.3 產生壓差的方法52
3.3.4 打氣試漏法及注意事項54
3.4 高頻火花檢漏法55
3.4.1 火花法56
3.4.2 放電法56
3.5 鹵素檢漏法 57
3.5.1 鹵素檢漏法原理及儀器結構57
3.5.2 鹵素檢漏法注意事項59
3.6 質譜儀檢漏法60
3.7 其他檢漏方法60
3.7.1 真空規法60
3.7.2 離子泵檢漏法69
3.7.3 聲波檢漏法70
3.7.4 氨檢漏法70
3.7.5 放射性同位素法76
3.7.6 著色滲透法78
3.7.7 熒光滲透法79
3.7.8 正壓漏率計算法79
第4章 標準漏孔及其校準
4.1 真空標準漏孔83
4.1.1 概述83
4.1.2 真空標準漏孔的種類83
4.1.3 真空標準漏孔的比較88
4.2 正壓標準漏孔89
4.3 標準漏孔的校準及使用注意事項89
第5章 氦質譜檢漏儀法
5.1 氦質譜檢漏儀工作原理93
5.2 儀器結構94
5.2.1 質譜室94
5.2.2 真空繫統 97
5.2.3 電氣部分98
5.2.4 普通型氦質譜檢漏儀（ZJS-23B）與逆擴散型氦質譜檢漏儀（ZQJ-230D）的比較98
5.3 示漏氣體選擇99
5.4 *小可檢漏率與校準100
5.4.1 檢漏儀的*小可檢漏率101
5.4.2 有效*小可檢漏率101
5.4.3 檢漏儀的*小可檢漏率校準方法101
5.4.4 有效*小可檢漏率的校準方法102
5.4.5 注意事項103
5.5 反應時間與清除時間及其校準104
5.6 氦質譜檢漏儀的選擇106
5.7 氦質譜檢漏技術107
5.7.1 氦質譜檢漏方法107
5.7.2 實際漏孔漏率123
5.7.3 大容器檢漏124
第6章 四極質譜計檢漏法
6.1 四極質譜計的結構135
6.2 四極質譜計的工作原理135
6.3 四極質譜計的工作模式136
6.3.1 模擬峰質量掃描136
6.3.2 棒峰質量掃描136
6.4 四極質譜計的性能指標137
6.4.1 質量範圍137
6.4.2 分辨本領R137
6.4.3 靈敏度S138
6.4.4 *小可檢分壓力pmin139
6.4.5 *高工作壓力pmax139
6.4.6 *小可檢濃度140
6.5 四極質譜計檢漏方法140
6.5.1 殘氣分析法140
6.5.2 單一示漏氣體檢漏法140
6.5.3 多種示漏氣體檢漏法140
6.6 應用舉例142
6.7 質譜圖的識別144
第7章 檢漏實踐和檢漏安全
7.1 檢漏實踐149
7.1.1 檢漏實踐的原則——在真空工作的各個階段都要考慮檢漏工作149
7.1.2 檢漏工作人員與檢漏試驗室（車間）151
7.1.3 如何進行檢漏152
7.2 檢漏安全153
7.2.1 安全事項153
7.2.2 安全防護154
7.2.3 壓力防護155
7.2.4 安全裝置156
7.2.5 示漏氣體的危害與安全性157
7.2.6 監測設備的類型158
7.2.7 安全規則158
參考文獻
編後語