章嵩著的《基於脈衝激光沉積富硼B-C薄膜的關
鍵技術研究/博士後文庫》旨在利用脈衝激光沉積技
術，將其分別采用碳化硼陶瓷靶與硼-碳拼合靶為靶
材。通過對靶材成分、組成形式及沉積溫度等工藝參
數的調整，得到表面平整、厚度均勻及成分可控的富
硼B-C薄膜，建立靶材成分、組成形式和沉積溫度等
工藝參數與薄膜組成、結構之間的關繫，對該繫列薄
膜的生長機理進行分析研究。
本書可作為薄膜材料研究專業科技人員的參考書
，也可作為高等院校材料類及相關專業的本科生、研
究生教學用書。

《博士後文庫》序言
前言
第1章 導論
1.1 激光慣性約束核聚變
1.1.1 激光慣性約束核聚變技術
1.1.2 激光慣性約束核聚變靶丸材料
1.2 B-C繫列材料
1.2.1 B-C繫列材料的晶體結構
1.2.2 B-C繫列材料的研究現狀
1.2.3 B-C繫列薄膜的研究現狀
第2章 富珊B-C陶瓷的制備、結構分析與成分控制
2.1 引言
2.2 實驗與測試
2.2.1 實驗原料
2.2.2 實驗設計與工藝過程
2.2.3 測試方法
2.3 B-C繫列陶瓷靶材的燒結致密化
2.3.1 B-C陶瓷燒結體的致密度分析
2.3.2 B-C陶瓷的物相分析
2.3.3 B-C陶瓷的顯微結構分析
2.4 不同配比B-C陶瓷靶材的制備與成分控制
2.4.1 不同配比B-C陶瓷的物相結構分析
2.4.2 不同原子比B-C陶瓷的顯微結構分析
2.4.3 B-C陶踵的化學組成分析與成分控制
2.4.4 硼、碳原子的化學結構分析
第3章 采用B-C陶瓷靶的富硼B-C薄膜脈衝激光沉積
3.1 引言
3.2 實驗與測試
3.2.1 實驗原料
3.2.2 實驗設計與工藝過程
3.2.3 測試方法
3.3 富硼B-C薄膜的脈衝激光沉積工藝研究
3.3.1 脈衝激光能量對薄膜沉積質量的影響
3.3.2 靶-基距對薄膜沉積質量的影響
3.4 B-C薄膜的成分研究
3.4.1 B-C薄膜的化學組成分析與成分控制
3.4.2 硼、碳原子的化學結構研究
第4章 采用B-C拼合靶的富硼B-C薄膜脈衝激光沉積
4.1 引言
4.2 實驗與測試
4.2.1 實驗原料
4.2.2 實驗設計與工藝過程
4.2.3 測試方法
4.3 B-C拼合靶的脈衝激光沉積工藝研究
4.3.1 基板溫度對薄膜沉積質量的影響
4.3.2 靶材自轉速度對薄膜沉積質量的影響
4.4 B-C薄膜的成分分析與控制
4.4.1 B-C薄膜的化學組成分析與成分控制
4.4.2 硼、碳原子的化學結構分析
4.5 B-C拼合靶的脈衝激光沉積過程分析