第1章 納米器件裝配制造技術
1.1 概述
1.2 納電子器件裝配制造研究現狀
1.3 機器人化納米操作繫統研究現狀
1.4 納米器件裝配制造主要問題
1.5 納米器件的規模化裝配制造關鍵技術
1.6 機器人化納米操作繫統的結構、主要問題與關鍵技術
第2章 納米材料預處理方法研究
2.1 單壁碳納米管結構和性質
2.2 單壁碳納米管束的分散方法研究
2.3 單壁碳納米管密度離心純化方法研究
2.4 單壁碳納米管預處理實驗研究
第3章 基於介電泳原理的SwCNT裝配方法研究
3.1 介電泳電場的工作原理
第4章 碳納米管器件的裝配制造研究
4.1 引言
4.2 單壁碳納米管納米器件的裝配制造實驗研究
4.3 單壁碳納米管納米器件的批量化裝配實驗研究
第5章 碳納米管氣體傳感器制作及特性測試研究
5.1 引言
5.2 基於納米材料的氣體傳感器實驗平臺搭建
5.3 納電子器件測試技術
5.4 基於單壁碳納米管氣體傳感器的氣敏特性檢測
第6章 納米傳感器的介電泳組裝實驗研究
6.1 引言
6.2 金納米粒子的介電泳組裝實驗研究
6.3 金納米粒子傳感單元對氣體流量的檢測
6.4 碳納米管的介電泳組裝實驗研究
6.5 碳納米管對次氯酸鈉的檢測實驗
第7章 機器人化納米操作繫統驅動與定位研究
7.1 壓電陶瓷驅動器電壓一位移非線性分析與驅動方法
7.2 三維納米力反饋與控制實驗
第8章 基於混合納米材料電子鼻制造研究
8.1 基於實時反饋的納電子器件規模化實驗平臺搭建
8.2 基於實時反饋的納電子器件規模化實驗
參考文獻