前言
第1章 緒論
1.1 腦機接口
1.2 植入式神經電極
1.2.1 深腦刺激
1.2.2 運動康復
1.2.3 人工耳蝸
1.2.4 視覺修復
1.3 EEG信號記錄電極
1.4 本章小結
第2章 電極關鍵屬性
2.1 電極界面阻抗
2.1.1 電極-溶液界面阻抗模型
2.1.2 對電刺激的影響
2.1.3 對電記錄的影響
2.2 電荷注入量
2.3 電極表面修飾
2.4 柔性襯底與針尖
2.4.1 柔性襯底
2.4.2 剛性針尖
2.4.3 柔性襯底上的針尖
2.5 柔性材料與針尖材料
2.6 柔性襯底三維針尖
2.7 本章小結
第3章 空心針尖神經電極陣列
3.1 引言
3.2 加工與制備
3.2.1 材料選取
3.2.2 流程設計
3.2.3 硅模具的制備
3.2.4 金屬圖形化
3.2.5 派瑞林轉移工藝
3.2.6 芯片加工結果
3.3 阻抗測試
3.4 活體測試結果
3.4.1 脈絡膜下芯片植入
3.4.2 芯片生物兼容性
3.4.3 植入後電極形貌表征
3.4.4 活體中電極阻抗
3.4.5 電生理測試
3.5 本章小結
第4章 基於SOI的三維神經電極陣列
4.1 引言
4.2 加工與制備
4.2.1 流程設計
4.2.2 硅針尖陣列的制備
4.2.3 芯片加工結果
4.3 阻抗測試
4.4 針尖機械性能
4.4.1 納米壓痕實驗