第l章 緒論
1.1 引言
1.2 極紫外光刻光源的產生方式
1.2.1 同步輻射光源
1.2.2 氣體放電等離子體源
1.2.3 激光等離子體源
1.3 激光等離子體極紫外光源的研究概況
1.3.1 13.5nm工作波長極紫外光源轉化效率的研究
1.3.2 13.5nm工作波長極紫外光源碎屑有效減緩的研究
1.4 極紫外光源的**研究進展
1.5 6.7nm極紫外光刻光源研究進展
1.6 6.7nm極紫外光源研究意義
1.7 小結
第2章 激光等離子體的物理特性
2.1 等離子體的產生方式
2.2 激光等離子體的膨脹過程
2.2.1 激光等離子體等溫膨脹過程的特性方程
2.2.2 激光等離子體*熱膨脹過程的特性方程
2.3 激光等離子體電子密度和電子溫度光譜法診斷
2.4 激光等離子體光譜輻射機制
2.5 等離子體中碎屑產生的物理機制
2.6 雙脈衝激光打靶機制
2.7 小結
第3章 極紫外平場光柵光譜儀的設計、調試和標定
3.1 引言
3.2 極紫外平場光柵光譜儀設計
3.2.1 使用平場光譜儀的必要性
3.2.2 平場光譜儀的設計
3.3 平場光譜儀的準直、安裝調試和檢驗
3.3.1 飛秒激光高次諧波產生的實驗裝置
3.3.2 平場光譜儀光路的準直
3.3.3 平場光譜儀的安裝調試和檢驗
3.4 平場光譜儀的標定
3.4.1 飛秒激光高次諧波法標定
3.4.2 元素吸收邊法標定
3.4.3 Si離子線譜法標定
3.5 小結
第4章 Gd靶激光等離子體的極紫外輻射光譜特性
4.1 引言
4.2 Gd靶激光等離子體光源光譜輻射影響
4.2.1 Gd靶激光等離子體的極紫外光譜特性
4.2.2 實驗裝置
4.2.3 Gd靶實驗結果與分析
4.3 預等離子體條件下Gd靶等離子體的極紫外光譜特性
4.3.1 實驗裝置
4.3.2 實驗結果與分析
4.4 收集方向對極紫外輻射光譜特性的影響
4.5 Gd2O3納米粒子摻雜玻璃靶等離子體的極紫外光譜特性
4.6 Gd靶激光等離子體離帶熱輻射特性
4.7 小結