●章 緒論
1.1 研究背景、目的及意義
1.2 推力波動抑制的國內外研究現狀及分析
1.3 主要研究內容
第2章 推力波動分析及反饋控制繫統設計
2.1 直線電機推力波動分析
2.2 直線電機建模及反饋控制器設計
2.3 本章小結
第3章 推力波動數據采集及辨識
3.1 推力波動數據采集方案設計及試驗結果
3.2 推力波動辨識方法研究
3.3 查表補償方法研究
3.4 本章小結
第4章 基於迭代學習前饋的推力波動補償方法研究
4.1 迭代學習前饋補償方法理論分析
4.2 基於迭代學習前饋的推力波動補償方法仿真研究
4.3 基於逆模型迭代學習前饋的推力波動補償方法實驗驗證
4.4 本章小結
第5章 基於擾動觀測器的推力波動補償方法研究
5.1 基於傳統擾動觀測器的推力波動補償方法研究
5.2 改進擾動觀測器設計
5.3 基於改進擾動觀測器的推力波動補償方法實驗驗證
5.4 基於改進擾動觀測器+迭代學習的推力波動補償方法研究
5.5 本章小結
結論
參考文獻
內容簡介
當今時代，永磁直線電機在高速度、高精度、高載荷的運動控制中應用很為廣泛，同時也帶來了更多的模型不確定性和更強的外部擾動問題。因此，兼顧高動態和高精度的運動控制指標，降低上述問題帶來的影響是至關重要的。
本書以很好精密設備――光刻機中的雙工件臺繫統為研究背景，針對有鐵芯直線電機存在的推力波動問題，進行了深入的理論分析和擾動補償方案研究。
本書可作為從事精密機電繫統研發的科研人員和工程師的參考書。
