內容簡介
蔣莊德等著的《MEMS技術及應用(高等學校教材)(精)/機械工程前沿著作繫列/優選制造科學與技術叢書》討論的主題是微機電繫統(MEMS)這一前沿交叉學科。作者通過對MEMS技術的主要方面：結構、材料、工藝、設計、測量進行繫統論述，並隨之對MEMS的典型應用進行分類介紹，為讀者勾勒出當前微機電繫統的發展全貌。作為對主體內容的補充和延伸，納機電繫統(NEMS)和石墨烯在本書的結尾部分被予以專門的討論。為MEMS專業課程提供適用的本科和研究生教材是本書的出發點，為達此目的，本書在內容安排上注意基礎理論知識和具體技術細節並重，力圖體現作者對MEMS專業方向學生的培養理念和教學思路。
