無驅動結構微機械陀螺結構簡單、成本低、可靠性高，其*大特點是它能同時敏感旋轉飛行載體橫向角速度和滾動角速度，即具有兩個有驅動結構微機械陀螺的功能，大大降低了使用成本。歷經十幾年的研制，無驅動結構微機械陀螺在我國研制成功並用於旋轉體。無驅動結構微機械陀螺相關技術已授權中國、美國、英國、法國、德國發明專利29項，獲省部級技術發明一等獎1項和二等獎3項，在**外學術刊物和學術會議上發表論文123篇。由張福學、張偉編著的《無驅動結構微機械陀螺及其應用(精)》較詳細地介紹了該陀螺及其應用。

由張福學、張偉編著的《無驅動結構微機械陀螺 及其應用(精)》全面繫統地介紹了無驅動結構機械陀 螺和無驅動結構微機械陀螺的原理、結構、性能及其 應用。 《無驅動結構微機械陀螺及其應用(精)》共分四 篇，第1篇共5章，主要介紹無驅動結構機械陀螺的數 學模型、精度、性能、運行誤差和實驗研究。第2篇 共5章，主要介紹旋轉飛行載體用無驅動結構微機械 陀螺的工作原理、誤差、相移和性能實驗。第3篇共6 章，主要介紹微電子機械繫統的電子材料及其加工處 理、MEMS用材料及其制備、標準微電子工藝、硅體的 微機械加工、硅的表面微機械加工和MEMS的微立體平 版光刻技術。第4篇共2章，主要介紹無驅動結構微機 械陀螺在旋轉飛行栽體姿態控制繫統中的應用。 本書可供旋轉飛行栽體用慣性器件和自動控制繫 統研制、使用單位的有關科技人員閱讀，也可作為高 等院校有關專業的本科生、研究生和教師的教學參考 書。

第一篇 無驅動結構機械陀螺
第1章 無驅動結構機械陀螺的數學模型
1.1 飛行中飛行器的特征
1.2 無驅動結構機械陀螺敏感元件的運動方程式
1.3 飛行器以常值角速度旋轉時陀螺的性能
1.4 無驅動結構機械陀螺繫統方案的選擇
1.5 已知等級儀器的調節質量
1.6 帶有速度負反饋的無驅動結構機械陀螺的穩定性
1.7 無驅動結構機械陀螺的技術性能
第2章 帶速度負反饋的無驅動結構機械陀螺的精度
2.1 繞橫軸轉動的常值角速度測量精度
2.2 無驅動結構機械陀螺的調節質量
第3章 在交變角速度條件下無驅動結構機械陀螺的性能
3.1 在角振動條件下無驅動結構機械陀螺的性能
3.2 在角振動條件下無驅動結構機械陀螺的輸出信號
3.3 飛行器的諧波角速度測量精度
3.4 在圓周振動時無驅動結構機械陀螺的性能
第4章 無驅動結構機械陀螺的工具性和運行性誤差
4.1 框架靜不平衡引起的誤差
4.2 角振動和圓周振動引起的誤差
4.3 安裝不**產生的誤差
4.4 環境溫度變化產生的誤差
第5章 無驅動結構機械陀螺實驗研究
5.1 帶速度負反饋的無驅動結構機械陀螺技術說明
5.2 無驅動結構機械陀螺的參數和反饋參數計算
5.3 高精度三軸轉臺
5.4 帶溫箱的雙軸轉臺
5.5 頻率特性拾取的特殊性
5.6 實驗結果
5.6.1 工作能力的測量法和測量結果
5.6.2 零偏信號的測量方法和結果
5.6.3 閾值的測量方法和結果
5.6.4 輸出特性的測量方法和結果
5.6.5 輸出信號穩定性的測量方法和結果
5.6.6 頻率特性采集的方法和結果
5.6.7 安裝不**影響測量方法和結果
5.6.8 帶自身旋轉倍頻的角振動輸出信號影響的測量方法和結果
第二篇 無驅動結構微機械陀螺
第6章 微機械加速度計和微機械陀螺
6.1 微機械加速度計
6.1.1 微機械加速度計的基本原理、工藝類型和應用
6.1.2 微機械加速度計的工作原理
6.1.3 用體微細加工工藝制造的微機械加速度計
6.1.4 用表面微細加工工藝制造的微機械加速度計
6.1.5 力反饋
……
第7章 無驅動結構微機械陀螺的工作原理
第8章 無驅動結構微機械陀螺的誤差
第9章 無驅動結構微機械陀螺相移
第lO章 無驅動結構微機械陀螺的靜態性能實驗

第三篇 無驅動結構微機械陀螺的微機械加工技術
**1章 電子材料及其加工處理
**2章 MEMs用材料及其制備
**3章 標準微電
**4章 體微機械加工
**5章 表面微機械加工
**6章 MEMS的微立體平版光刻技術
第四篇 無驅動結構微機械陀螺的應用
**7章 信號處理
**8章 飛行姿態控制繫
參考文獻