微繫統光學檢測技術
作 者: 無 著作 伏爾夫崗·奧斯騰 主編 王伯雄 等 譯者
定 價: 95
出?版?社: 機械工業出版社
出版日期: 2014年08月01日
頁 數: 442
裝 幀: 平裝
ISBN: 9787111458371
●譯叢序言
譯者序
前言
章用於MEMS測試的圖像處理和計算機視覺
1.1概述
1.2任務分類
1.3圖像處理和計算件
1.3.1光、顏色和濾波器的行為
1.3.2照明
1.3.3透鏡繫統
1.3.4傳感器
1.4圖像數據的處理與分析
1.4.1計算機視覺過程
1.4.2圖像數據預處理和處理方法
1.4.3圖像數據分析方法
1.4.4解決測試任務
1.5商業與非商業的圖像處理和計算機視覺軟件
1.6用於光學計量中條紋圖案的圖像處理技術
1.7結論
參考文獻
第2章微繫統檢測用圖像的相關技術
2.1概述
2.2用數字圖像相關(DIC)技術的變形測量法
2.2.1數字微圖像的互相關算法
2.2.2位移和應變場的提取
2.2.3確定衍生性質
2.2.4功能與限制
2.2.(FE)仿真與DIC方法的結合
……
內容簡介
微繫統的尺度小，材料組合性強，功能多，對它的測量與檢測構成了該領域新的挑戰。本書內容豐富，覆蓋面廣，彙聚了各國知名大學共28位作者的很好成果。書中將檢測技術原理與眾多應用實例相結合，介紹了微繫統檢測的應用光學技術，主要提供該領域中典型光學檢測技術的全面回顧，包括光散射法、掃描探針顯微技術、共焦顯微技術、條紋投影技術、柵格和莫爾技術、干涉顯微技術、激光多普勒測振技術、全息術、散斑測量術及光譜技術，同時還詳述了上述技術相關數據的獲取和處理方法。
本書是微納米檢測領域一本的參考書，適合從事微納制造、微繫統檢測的科技人員、高等院校相關研究方向的師生參考使用。
Optical Inspection of Microsystems/by Wolfgang Osten/ISBN:9780849336829
Copyright2007 by CRC Press.......
