產品名稱：絕緣體上硅(SOI)技術——... ISBN編號：9787118116366 書名：絕緣體上硅(SOI)技術——制造及應用 絕緣體上硅(SOI)技術——制造及應用 作者：[法] Oleg，Kononchuk，ich-Yen，Nguyen 著，劉忠立，寧瑾，趙.. [法] 代碼：128 是否是套裝：否 出版社名稱：國防工業出版社
" 絕緣體上硅(SOI)技術 制造及應用 作 者:(法)奧列格·庫儂楚克(Oleg Kononchuk) 等 著 劉忠立,寧瑾,趙凱 譯  定 價:128 出 版 社:國防工業出版社 出版日期:2018年09月01日 頁 數:385 裝 幀:精裝 ISBN:9787118116366  ● 部分絕緣體上硅材料及制造
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● 章絕緣體上硅晶圓片材料及制造技術
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● 1.1引言
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● 1.2SOI的晶圓片制造技術概述
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● 1.3SOI量產制造技術
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● 1.4SOI晶圓片結構及表征
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● 1.5晶圓片直接鍵合：濕表面清洗技術
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● 1.6直接鍵合機理的表征
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● 1.7Si和SiO2直接鍵合的其他表面制備工藝
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● 1.8利用離子注入、鍵合及剝離量產SOI襯底的智能剝離技術
●......  內容簡介  本書分為兩個部分；靠前部分包括SOI材料及制造，第二部分包括SOI器件及應用。本書的前幾章介紹SOI晶片的制造技術，優選SOI材料的電學特性，以及短溝道SOI半導體晶體管的建模。涉及部分耗盡及全耗盡二種SOI技術。第6章和第7章關注的是無結及氧化物上鰭（fin）型場效應晶體管。還介紹了CMOS器件變化趨勢和靜電放電中的一些關鍵技術。第二部分涵蓋很近的和已成熟的技術。它們包括射頻應用的SOI晶體管，超低功耗應用的SOICMOS電路，以及利用SOI的三維集成來提高器件性能的方法.
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