●第1章 LTCC技術概述
1.1 國內外發展現狀
1.1.1 國內發展現狀
1.1.2 國外發展情況
1.2 LTCC工藝技術流程
1.3 LTCC技術特點
1.4 小結
參考文獻
第2章 LTCC材料
2.1 LTCC材料簡介
2.2 LTCC生瓷材料
2.2.1 玻璃-陶瓷
2.2.2 玻璃+陶瓷
2.2.3 單相陶瓷
2.2.4 LTCC生瓷材料的發展方向
2.3 LTCC導體材料
2.3.1 Ferro A6常用配套金屬漿料
2.3.2 Dupont 951常用配套金屬漿料
2.4 小結
參考文獻
第3章 LTCC基板制造工藝流程
3.1 打孔
3.1.1 生瓷片打孔工藝簡介
3.1.2 數控衝床帶模具衝孔
3.1.3 逐個打孔
3.1.4 小結
3.2 填孔
3.2.1 填孔工藝簡介
3.2.2 填孔工藝及控制技術
3.2.3 填孔材料熱應力的影響
3.2.4 填孔材料收縮率的控制
3.2.5 小結
3.3 印刷
3.3.1 印刷工藝簡介
3.3.2 印刷質量控制
3.3.3 小結
3.4 疊層
3.4.1 疊層方法
3.4.2 疊層工藝中的關鍵技術
3.4.3 疊層效果檢驗方法
3.4.4 小結
3.5 壓合
3.5.1 壓合技術
3.5.2 腔體產品壓合注意事項
3.6 熱切
3.6.1 LTCC熱切工藝簡介
3.6.2 常見熱切缺陷
3.6.3 熱切缺陷的產生機理
3.6.4 小結
3.7 共燒
3.7.1 LTCC共燒的作用
3.7.2 共燒的關鍵控制點
3.7.3 異質材料的燒結
3.7.4 零收縮燒結
3.7.5 小結
3.8 後燒
3.8.1 後燒工藝簡介
3.8.2 後燒工藝方法
3.8.3 後燒對LTCC基板性能的影響
3.8.4 小結
3.9 LTCC基板砂輪劃片技術
3.9.1 概述
3.9.2 金剛石砂輪劃片工藝簡介
3.9.3 LTCC基板砂輪劃片質量控制
3.9.4 小結
3.10 LTCC基板激光劃片技術
3.10.1 概述
3.10.2 激光加工的基本原理
3.10.3 激光劃片機的結構
3.10.4 LTCC基板激光劃片關鍵技術
3.10.5 LTCC基板劃片的技術難題及解決辦法
3.10.6 小結
參考文獻
第4章 檢測
4.1 概述
4.2 LTCC自動光學檢測技術
4.2.1 LTCC自動光學檢測技術簡介
4.2.2 LTCC制備與AOI檢測
4.2.3 AOI檢測流程
4.2.4 結果及分析
4.2.5 小結
4.3 LTCC飛針測試
4.3.1 LTCC飛針測試工藝簡介
4.3.2 飛針測試原理
4.3.3 飛針測試工藝過程
4.3.4 測試不良原因分析
4.3.5 小結
4.4 LTCC基板可靠性評估
4.4.1 可靠性試驗
4.4.2 可靠性評價
4.5 小結
參考文獻
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