光干涉計量測試技術是以波長為計量單位,是一種公認的高精度計量測試技術。干涉儀輸出的是一幅干涉圖,借助於數學物理模型,可以將干涉圖與多種被測參數相聯繫,從而實現相關物理參數的測量。薄膜光學常數(折射率、消光繫數)和厚度是薄膜設計和制備所必需的重要參數,其受制備工藝的影響不同而不同,因此要制備性能穩定的薄膜器件,提高生產制備的成品率,就必須準確地檢測出各種制備工藝下薄膜器件的光學常數和厚度值。在國家國際科技合作計劃及省部級科技計劃項目的支持下,以高精度的光干涉測試為原理,開展了以多種光干涉測試方法對光學薄膜厚度的測量研究,形成了基於高精度光干涉測試技術的薄膜厚度測量繫列方法。