●前言
第1章緒論
1.1外延生長
1.2MOVPE概述
參考文獻
第2章MOVPE生長繫統
2.1MOVPE氣體輸運分繫統
2.2MOVPE生長反應室分繫統
2.3MOVPE尾氣處理分繫統
2.4MOVPE生長控制裝置分繫統
2.5MOVPE外延層生長的原位監測
參考文獻
第3章原材料
3.1金屬有機化合物源
3.2氫化物源
參考文獻
第4章MOVPE的熱力學分析
4.1外延生長速度的機構
4.2MOVPE生長的固溶體固相成分與氣相成分關繫
4.3MOVPE生長相圖與單凝聚相生長區
4.4摻雜
參考文獻
第5章MOVPE化學反應動力學和質量輸運
5.1MOVPE化學反應動力學
5.2MOVPE反應室內的輸運現像與模型化
5.3MOVPE化學反應-輸運模型的應用
參考文獻
第6章MOVPE的表面過程
6.1表面成核
6.2外延生長模式
6.3MOVPE環境下的表面再構
6.4表面活性劑
參考文獻
第7章III-V族半導體材料的MOVPE生長
7.1GaAs及其固溶體的MOVPE生長
7.2InP、GaP及其有關化合物的MOVPE生長
7.3銻化物的MOVPE生長
7.4氮化物的MOVPE生長
7.5選擇外延生長和非平面襯底上的外延生長
7.6Si、Ge上III-V族半導體的MOVPE生長
參考文獻
第8章II-VI族半導體材料的MOVPE生長
8.1ZnSe及其有關化合物的MOVPE生長
8.2ZnO及其固溶體的MOVPE生長
8.3H Te的MOVPE生長
參考文獻
第9章低維半導體材料的MOVPE生長
9.1量子阱結構的MOVPE生長
9.2量子點和量子線結構的生長
參考文獻
第10章MOVPE技術在半導體器件方面的應用
10.1發光二極管
10.2激光器
10.3太陽能電池
10.4半導體光探測器
10.5高電子遷移率場效應晶體管
10.6異質結雙極晶體管
10.7光電集成電路
參考文獻
後記

金屬有機化合物氣相處延(MOVPE)技術是制備化合物半導體異質結、低維結構材料，以及生產化合物半導體光電子、微電子器件的重要方法。本書是國內第一本全面繫統地介紹MOVPE的專著，從理論和實踐兩個方面分別論述了該技術的生長繫統和原材料特性等實驗基礎、MOVPE生長熱力學、化學反應動力學和輸運現像等理論基礎。在此基礎上繫統介紹了Ⅲ-Ⅴ族和Ⅱ-Ⅵ族化合物半導體材料生長及其量子阱、量子點等低維結構的MOVPE生長，以及在光電器件和電子器件方面的應用。書中附有大量參考文獻，以便讀者進一步參考。本書可供從事半導體科研和生產的科研人員、大專院校教師和研究生使用。