了得網圖書_MEMS技術及應用

作者:蔣莊德等著著

定價:69

出版社:高等教育出版社

出版日期:2018年11月01日

頁數:0

裝幀:精裝

ISBN:9787040504781

●第1章 MEMS導論
● 1.1 概念與定義
● 1.2 優勢與不足
● 1.3 歷史與發展
● 1.4 產業與市場
●第2章 MEMS結構
● 2.1 微尺度效應對微結構的影響
● 2.2 微加工工藝對微結構的影響
● 2.3 換能物理效應對微結構的影響
● 2.3.1 壓電效應
● 2.3.2 靜電效應
● 2.3.3 熱脹效應
● 參考文獻
●第3章 MEMS材料
● 3.1 單晶硅
● 3.1.1 晶圓制備
● 3.1.2 晶體結構
● 3.1.3 力學性能
● 3.1.4 壓阻特性
● 3.2 硅基薄膜
●部分目錄

蔣莊德等著的《MEMS技術及應用(高等學校教材)(精)/機械工程前沿著作繫列/優選制造科學與技術叢書》討論的主題是微機電繫統(MEMS)這一前沿交叉學科。作者通過對MEMS技術的主要方面：結構、材料、工藝、設計、測量進行繫統論述，並隨之對MEMS的典型應用進行分類介紹，為讀者勾勒出當前微機電繫統的發展全貌。作為對主體內容的補充和延伸，納機電繫統(NEMS)和石墨烯在本書的結尾部分被予以專門的討論。為MEMS專業課程提供適用的本科和研究生教材是本書的出發點，為達此目的，本書在內容安排上注意基礎理論知識和具體技術細節並重，力圖體現作者對MEMS專業方向學生的培養理念和教學思路。

蔣莊德等著著

蔣莊德，中國工程院院士，西安交通大學教授，英國伯明翰大學博士、名譽教授，澳大利亞新南威爾士大學客座教授；教育部科學技術委員會副主任兼戰略研究指導委員會主任，國務院學位委員會學科評議組成員，中國機械工程學會副理事長，中國微米納米技術學會副理事長等；教育部“微納制造與測試技術”靠前聯合實驗室主任。
長期從事微納制造與優選傳感技術、精密超精密加工與測試技術及裝備等方面的研究，在高端MEMS傳感技術及繫列器件、數字化精密測量以及超精密加T技術與裝備等工程科技領域成果卓著，在微納米技術相關基礎理論和生物檢測技術及儀器等方面開展了創新性研究。獲國家技術發明二等獎2項，國家科技進步二等獎1項等

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