內容簡介
《高精度平面電機技術》共分九章,主要內容包括平面電機關鍵技術、平面電機的設計和工藝、磁場分析方法研究、直線執行器電磁建模、直線執行器控制研究、磁懸浮平面電機控制研究、平面電機控制繫統設計、三自由度平面電機運動控制實驗。《高精度平面電機技術》共分九章,主要包括平面電機關鍵技術、平面電機的設計和工藝、磁場分析方法研究、直線執行器電磁建模、直線執行器控制研究、磁懸浮平面電機控制研究、平面電機控制繫統設計、三自由度平面電機運動控制實驗。
在許多高新技術領域,如集成電路制造、微型機械裝配、生物細胞作業、超精密加工及測量等,都需要具有高速度和高精度的兩維定位裝置。然而,傳統的疊加式二維定位平臺無法擺脫機械式傳動機構和摩擦所帶來的固有缺點,包括定位精度較低、動子部件質量較大、響應速度慢、制造成本高等。因此基於直接驅動的磁浮/氣浮平面直接驅動電機被提出來實現高速度和高精度定位,因動子平臺在一個近似平面的空間範圍內運動,業界稱為平面電機。與傳統的兩維定位裝置相比,平面電機具有直接驅動、無摩擦、無反衝、功耗小、定位精度高等優點。
本書結合編者所在東南大學參與的多個平面電機相關的科技項目和社會實踐,從平面直接驅動技術的現狀、無鐵平面電機的關鍵技術綜述、平面電機的電磁力建模方法、平面電機的設計原則和案例、用於平面驅動的直線執行器的建模、直線執行器的控制策略、磁懸浮平面電機建模、平面電......
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