第1章 緒論
1.1 MEMS技術的概述
1.1.1 MEMS的概念和特點
1.1.2 MEMS技術的發展
1.2 MEMS技術在軍事中的應用
第2章 MEMS開關分類
2.1 加速度計開關
2.2 RF MEMS開關
2.3 機電耦合開關
2.4 MEMS慣性開關
2.5 引信用MEMS開關的特點
2.5.1 目前引信用開關存在的問題
2.5.2 引信特殊環境對MEMS慣性開關性能需求
第3章 開關多物理場
3.1 結構場
3.1.1 變截面積懸臂梁的剛度計算
3.1.2 S形折疊懸臂梁剛度計算
3.1.3 S形折疊懸臂梁剛度的有限元仿真
3.2 靜電場
3.2.1 靜電驅動原理
3.2.2 靜電吸合效應
3.2.3 負彈簧效應的影響
3.3 靜電-結構耦合特性分析
3.3.1 等效剛度法靜電-結構耦合分析
3.3.2 模態疊加法靜電-結構耦合分析
3.3.3 有限元反饋法靜電-結構耦合分析
3.4 阻尼場
3.4.1 滑膜阻尼
3.4.2 壓膜阻尼
3.4.3 懸臂梁的流-固耦合的壓膜阻尼模型
第4章 影響引信MEMS慣性開關性能的主要因素
4.1 開關的響應時間
4.2 開關的閉合可靠性
4.3 開關的接觸電阻
4.3.1 接觸形式的影響
4.3.2 接觸材質的影響
4.3.3 接觸電阻的計算
第5章 典型開關的設計與分析
5.1 閾值可調的懸臂梁開關的設計與分析
5.1.1 模型的建立
5.1.2 開關基本工作原理
5.1.3 開關工作性能仿真
5.1.4 抗過載性能仿真
5.1.5 尺寸參數對開關性能的影響分析
5.1.6 加工誤差仿真分析
5.2 環形無源萬向慣性開關的設計與分析
5.2.1 開關基本工作原理
5.2.2 開關工作性能仿真
5.2.3 抗過載性能仿真
5.2.4 開關工藝流程